Физико-технологический институт Российской академии наук (ФТИАН)
Главная | Диссертационный совет | Библиотека | Разработки | Публикации | Семинары | Контакты

Установка глубокого анизотропного
плазмохимического травления
для создания элементов МЭМС и НЭМС

Установка плазмохимического травления

  • Тип источника плазмы: плоский ICP
  • Генератор: 13,56 МГц, 1 кВт
  • Источник смещения: до 400 Вт (13,56 МГц)
  • Диаметр пластины: 150, 200 мм
  • Рабочие давления: 0,5-50 мТор
  • Система подачи газов: 4 канала, 0-200 Sccm
  • Газы: F-, Cl- содержащие, O2, H2, Ar
  • Плотность плазмы: до 3*1012 см-3
  • Температура электронов: < 4 эВ (Ar)
  • Неравномерность плазмы: < 2% на ø 200 мм
  • Скорость травления: до 6 мкм/мин (Si) и до 0,8 мкм/мин (SiO2)
  • Полная автоматизация процесса с управлением от персонального компьютера

Плазменное анизотропное травление кремния для изделий микромеханики

Фрагмент микромеханического устройства в сечении и плане кристала  
Международная конференция «Микро- и наноэлектроника»
Международная конференция
«Микро- и наноэлектроника»

Симпозиум «Квантовая информатика»
Симпозиум «Квантовая информатика»


 13.09.2010 - 15:00Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Научный семинар
«Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники»
(конференц-зал ФТИАН)

Mauro Zanuccoli
(University of Bologna & IUNET (Italy))

Numerical simulation of silicon crystalline photovoltaic devices

 17.06.2010 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

В. И. Манько
(ФИАН)

"Квантовая механика с вероятностью вместо волновой функции"

 10.06.2010 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

А. В. Цуканов
(ФТИАН)

"Наноэлектромеханические резонаторы и сверхпроводниковые кубиты"

 24.05.2010 - 15:00Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Научный семинар
«Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники»
(конференц-зал ФТИАН)

И. Ли
(ИФП СО РАН, Новосибирск)

Системы считывания для многоэлементных инфракрасных фотоприемных устройств третьего поколения
(по материалам диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук)

 20.05.2010 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

Ю.И. Богданов, И.Д. Букеев, А.К. Гавриченко, Е.Д. Жебрак
(ФТИАН)

Томография многокубитовых квантовых состояний

 13.05.2010 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

А.Ю. Окулов
(ФИАН)

Законы сохранения при отражении фотона с орбитальным моментом импульса от зеркала.

 15.04.2010 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

А. В. Козловский
(ФИАН)

Квантовые шумы и флуктуации излучения лазеров и источников когерентного атомного поля (атомных лазеров)- по материалам докторской диссертации.

 05.04.2010 - 13:00Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Научный семинар
«Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники»
(конференц-зал ФТИАН)

В. В. Костюченко
(Ярославский филиал ФТИАН)

Тороидальный момент и индуцированные электрическим полем переходы в молекулярном магнетике V15

 01.04.2010 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

А.П. Шурупов
(МГУ)

Поляризационные состояния бифотонов в протоколах квантовой связи (по материалам канд. диссертации)

 29.03.2010 - 15:00Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Научный семинар
«Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники»
(конференц-зал ФТИАН)

С. Н. Филиппов
(ФТИАН)

Перспективные межсоединения в интегральных схемах
(обзор литературы)


В. В. Вьюрков
(ФТИАН)

Туннельный полевой транзистор – новый быстродействующий элемент наноэлектроники

 25.03.2010 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

Ю. И. Богданов, А. К. Гавриченко
(ФТИАН)

Квантовая томография кубитов на основе протоколов, задаваемых правильными многогранниками

 23.03.2010 - 15:00Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники
Научный семинар
«Перспективные технологии и устройства микро- и наноэлектроники»
(конференц-зал ФТИАН)

П. Б. Можаев
(ФТИАН)

Тонкопленочные металлооксидные гетероструктуры для реализации сверхпроводникового кубита на флуксоидах

 11.03.2010 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

Ю.И. Богданов, С.П. Кулик, Е.В. Морева
(ФТИАН, МГУ, МИФИ)

Статистическое оценивание качества протоколов квантовой томографии

 04.03.2010 - 15:00Квантовые компьютеры
Научный семинар
«Квантовые компьютеры»
(конференц-зал ФТИАН)

А.А. Кокин
(ФТИАН)

Фуллерены как элементная база полномасштабных спиновых квантовых компьютеров


Архив семинаров
На главную страницу
Написать письмо
Мобильная версия Мобильная версия  

© 2001-2010 Физико-технологический институт Российской академии наук (ФТИАН)
www.ftian.ru

  Яндекс цитирования